激光扫描是激光技术的一个非常重要的应用领域。高惯性激光扫描系统具有良好的线性，准确度高，频率可延伸到10～100Hz，现已广泛采用在各种光机电系统中。采用多面棱镜扫描时，相对于双面镜在系统中引入的误差小。激光扫描要求扫描像高与光束入射角成线性关系，即y=f·θ，所以大多数激光标刻机采用F-Theta镜的扫描系统，其中F-Theta镜的光学性能很大程度上决定了扫描面积的大小。大工作面积的F-Theta镜通 过引入相对较大的负畸来保持像高与入射角的线性关系，同时容易造成光能量利用 率低的问题。

      激光标刻系统是综合了激光技术和计算机技术的光、机电一体化系统，具有巨大的 发展潜力和广阔的市场前景。目前国内用于激光标刻机扫描镜头的工作面积一般不超 过300mm×300mm。在对激光标刻技术要求日益提高的今天，镜头扫描面积如果过小， 将会成为一项技术瓶颈。

      本文对大工作面F-Theta镜头的光学设计理论和思想作了具体阐述，通过对激光扫 描系统的分析，得出合理的参数要求，确定初始结构。站在像差校正和像质评价角度， 利用CODE V软件优化设计，校正畸变、像散等像差，得到了标刻直径为Φ750mm的F-Theta镜头。同时最小线宽小于150μm，扫描视场角达到 ±30o。它结构紧凑、聚焦性能接近 衍射极限、能量利用率高，满足了目前大工作面打标的使用要求。