CO2激光器是目前激光加工领城应用最广、种类最多的一种气体激光器。CO2激光器有多种分类方法。按运转方式分类可分为连续CO2激光器、脉冲CO2激光器与可调谐CO2激光器;按结构分类可分为封离式CO2激光器、轴流CO2激光器、横流CO2激光器与扩散冷却CO2激光器等;按激励方式分类可分为电激励CO2激光器和热激励CO2激光器，工业用C02激光器主要为电激励激光器。

   ①封离式CO2激光器。最早的C02激光器的结构是封离式的，它是广泛应用且最成熟的一种结构形式。典型的封离式co2激光器基本结构，由放电管、水冷套管、储气管、回气管、谐振腔镜与电极等部分组成。三层套管(放电管、水冷套管、储气管)为套筒式结构，是封离式CO2激光器中的关键部件，通常由硬质玻璃管制成，有稳定腔长等特殊要求时也可采用熔石英。最里层为放电管，中间为水冷套管，外层为储气管。放电管的粗细对激光器的输出功率影响不大，但太细时需要考虑到光斑大小所引起的衍射效应，选择时应根据管长而定，通常为8 -10mm,当管长较长时应适当增大。激光输出功率主要决定于放电管的长度，并与其成正比

例关系，在一定范围内每米放电管长度能够输出的激光功率随总的放电管长度而增加(通常为50^-80W/m)。水冷套管的作用是冷却工作气体，以防止放电激励的过程中放电管受热炸裂，同时使激光输出功率稳定。储气管的作用一方面是减少放电过程中工作气体成分和压力的变化，另一方面又增强了放电管的机械稳定性。回气管是连接两电极空间的细螺旋管，可改善由电泳现象造成的极间电压的不平衡分布。回气管的管径和长短应严格规定，使其既能满足气体导通的作用，又不产生回气管内放电现象。

   封离式CO2激光器的谐振腔通常为平凹腔.中小功率激光器的凹面反射镜常采用K9光学玻璃或硅片加工而成，镜面上镀有高反射率的金属膜——金膜，对CO2激光波段的反射率达99%，化学性质稳定。而对于高功率输出的CO2激光器常采用以铜为基底的镀金反射镜或经表面抛光的钼镜。输出镜通常采用能透10.6um的红外光学材料作基底,表面镀多层介质膜，以控制输出镜的透过率和反射率。常用的输出镜材料有锗(Ge),硒化锌(ZnSe)和砷化稼(GaSe)等。封离式CO2激光器的放电电流较小，电极通常用铝片或镍片做成圆筒状。