③横流CO2激光器。横流CO2激光器的基本特征是工作气体的流动方向与激光光轴相互垂直。由于气体流动的路径短，通道截面积大，较低的流速即可达到快轴流激光器的冷却效果。横流CO2激光器通常采用电场与光轴垂直的横向激励方式，即形成所谓的三轴(光、电、气)正交。横流CO2激光器也是一种可产生高功率输出的气体激光器，每米的输出功率达到数千瓦。目前商业化的器件输出功率可以达到20kW。但是此种激光器的光束质量稍差，不适合精密加工，但在激光熔熔覆、激光淬火、表面强化以及激光焊接等领域得到了广泛运用。

   a.横流CO2激光器的结构。横流CO2激光器主要由放电谐振腔系统、气体循环系统、激励电源和控制系统等部分组成，根据电极的形状可分为管一板式电极结构激光器、针一板式电极结构激光器和板一板式电极结构激光器。其放电区的结构特征如图4.3所示。

   b.横流CO2激光器的输出特性。高功率横流CO2激光器通常输出的激光模式为多模，光斑形状为与放电区截面相同的矩形。也可利用输出镜将其变为圆形光斑输出，但对输出功率有一定的损失。根据不同的加工需要还可以利用腔内加人光阑的办法改变激光输出模式，将激光变为低阶模。

了激光器的性能。采用水冷和旋流风冷相结合的固体窗口冷却装置,并已获专利批准;采用了高功率CO2激光器的超低吸收固体窗口硬膜镜片，电光转换效率≥21%，处于国内领先水平；采用PLC控制系统，触摸屏显示，人机对话操作方式;操作简单，具有参数设定、状态显示、故障提示、在线帮助诊断等功能;采用横向

针板放电的气体快速循环流动激光器，其有功率高、效率高、光束质量高、寿命长、稳定性好、结构紧凑、使用费用低、维修方便等。